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高速精密贴装设备精密运动平台

精密运动平台

产品解决了高精度定位及运动控制系统设计关键技术问题，实现最大速度≥450 mm/s，平均加速度≥0.6G👩🏽‍🌾🧑🏻‍🦯‍➡️，单轴重复定位精度≤±1μm（可达±100nm）#️⃣。能广泛应用于装备制造、无损检测、芯片检测、AOI检测、晶圆切割🧛‍♂️、3C电子封装等高精尖领域🛐，为相关产业提供强有力的技术支撑和定制化国产替代解决方案。本产品被评为安徽省首台套重大技术装备。

更多产品

应用案例

行程:960mm×1100mm
重复定位精度:±1um
绝对定位精度:±3um

PCB板激光钻孔平台

关键技术参数👨🏿‍🚀：
行程：300mm×300mm
重复定位精度：±0.5μm
绝对定位精度🔍：±1μm
负载：10kg
最大加速度：0.5G
最大速度🤷🏼‍♀️：300mm/s
直线度👭：±2μm
垂直度：±2μm
行走平面度：±2μm
速度均匀性：1‰@300mm/s

陶瓷激光切割平台

关键技术参数：
行程💘🤱🏼：350mm×350mm
重复定位精度：±1μm
绝对定位精度：±2μm
负载：10kg
直线度：±2μm
最大加速度：1G
最大速度🛞：800mm/s

汽车零部件产线精密检测平台

关键技术参数：
行程：1200mm×1500mm
重复定位精度👨‍👨‍👧‍👦：±1μm
绝对定位精度：±3μm
负载🧑‍🎨🧚🏻‍♀️：10kg
直线度🏂🏽：±2μm
最大加速度💴：0.8G
最大速度👒：1200mm/s

玻璃面板激光切割平台

关键技术参数：
行程：1250mm×500mm
重复定位精度◾️：±0.7μm
绝对定位精度🌓：±1.5μm
负载🛞：10kg
最大加速度：0.5G
最大速度🫃：1000mm/s

PCB检测平台

关键技术参数：
行程👨‍⚕️：600mm×600mm
重复定位精度：±1μm
绝对定位精度💃🏿：±3μm
负载🧀🫳🏻：20kg
直线度👬🏻：±2μm
最大加速度：2G
最大速度：1500mm/s

非金属材料精密激光切割平台

关键技术参数👾：
行程🗄：350mm×350mm
重复定位精度🤷‍♂️：±1μm
绝对定位精度：±2μm
速度稳定性🩻：1‰
负载🧘🏽：10kg
直线度：±2μm
最大加速度：1G
最大速度：800mm/s
θ轴角度重复定位精度：±3arcsec
θ轴角度绝对定位精度：±10arcsec

晶圆检测平台

关键技术参数：
行程：350mm×350mm
重复定位精度：±0.3μm
绝对定位精度：±0.5μm
负载：10kg
直线度：±1.5μm
最大加速度：1G
最大速度🐈：800mm/s

AOI精密测量平台

关键技术参数：
行程：1300mm
重复定位精度：±0.75μm
绝对定位精度：±1.5μm
直线度🤾🏿‍♀️：±4μm
最大加速度：0.5G
最大速度🙋：800mm/s

LDI激光直写平台

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